SEMI-e看点速览｜广明源172nm MINI实验模组首秀亮相

6月4-6日，广明源将参展(cānzhǎn)2025 SEMI-e 中国（深圳）国际半导体展览会，诚邀(chéngyāo)行业伙伴莅临14号馆14G22展位(zhǎnwèi)，现场(xiànchǎng)交流172nm准分子光科技在半导体制造中的创新应用，共探制程优化新路径。 172nm MINI实验模组(mózǔ) 新品首发 本次展会，广明源将首发推出自主研发的新品——172nm MINI实验模组。该产品专为(wèi)半导体工艺研发、制程验证及(jí)小批量试产(shìchǎn)环节设计，具备结构精简、成本可控(kěkòng)、桌面即放即用、便携灵活等特点，适配多种实验环境与制程需求。 172nm 深紫外黑科技(kējì) 可高效分解晶圆表面有机残留，提升(tíshēng)洁净度与附着性能，为封装、清洗等工艺提供稳定前处理方案(fāngàn)。 极简结构，桌面级(jí)准分子实验新体验 由于传统准分子光辐照器因高纯度(gāochúndù) N₂填充结构复杂，难以实现桌面级灵活实验。广明源创新推出紧凑台式准分子光照射器——172nm MINI实验模组，机身仅相当于书本大小，采用高集成轻量化设计，打破空间(kōngjiān)与(yǔ)成本壁垒，助力高校、企业及(jí)研究机构(jīgòu)轻松搭建准分子光实验环境，满足平板显示光清洗、塑料(sùliào)表面改性等多领域研发需求。 封装工艺表面清洁(qīngjié)处理 超净化超微细清洗(qīngxǐ)工艺验证 172nm 系列全线亮相共襄盛会(shènghuì) 除新品发布外，广明源(yuán)还将展出多款172nm准分子系列光源与模组产品，覆盖晶圆清洗、半导体(bàndǎotǐ)基材表面活化、超纯水TOC降解等多个关键工艺环节，为制程优化与设备升级提供更(gèng)多选择。 172nm准分子(zhǔnfènzǐ)系列光源 172nm准分子系列(xìliè)模组及设备 SEMI-e 2025 ，诚邀莅临(lìlín) 欢迎半导体制造(zhìzào)企业、设备厂商、工艺研发工程师及行业伙伴莅临参观交流，现场了解172nm准分子光科技在半导体制造领域的多元应用(yìngyòng)，共同探讨合作(hézuò)机会。 2025 SEMI-e 中国（深圳）国际(guójì)半导体展览会 时间(shíjiān)：2025年6月4-6日 地点：深圳国际(guójì)会展中心14号馆 （本文来源：日照新闻网。本网转发此文章，旨在为读者提供更多信息资讯，所涉内容不构成投资、消费建议。对文章事实有(yǒu)疑问，请与(yǔ)有关(yǒuguān)方核实或与本网联系。文章观点非本网观点，仅供读者参考。）